Stepper NSR-1755i7A 日本 Nikon 94079 150mm
Stepper NSR-2005i8A 日本 Nikon 1992 150/200mm
Stepper NSR-2005i8A 日本 Nikon 1105298 150/200mm
Stepper NSR-4425i 日本 Nikon 1995 150mm
Mask Aligner MA6 德国 SUSS 100mm
Mask Aligner MA6 德国 SUSS 150mm
Mask Aligner MA150 CC 德国 SUSS 150mm
BSA Aligner EVG620 美国 EVG 150mm
Track Mark V 日本 TEL 1997 150mm
Track Mark V 日本 TEL 1992 150mm
Track Mark Vz 日本 TEL 1995 150mm
Track DNS 80B 日本 DNS 2001 150mm
Furnace SVG5200 美国 SVG 150mm
Furnace SVG5200 美国 SVG 150mm
Furnace SVG5200 美国 SVG 150mm
Furnace SVG5200 美国 SVG 150mm
Vert. Furnace DD-802V-H 日本 KOKUSAI 1992 150mm
Vert. Furnace DD-802V-H 日本 KOKUSAI 1991 150mm
Vert. Furnace DD-802V-H 日本 KOKUSAI 1991 150mm
Vert. Furnace DD-802V-H 日本 KOKUSAI 1991 150mm
Vert. Furnace DD-802V-H 日本 KOKUSAI 1992 150mm
Vert. LP-CVD DJ-802V-H 日本 KOKUSAI 1996 150mm
Vert. Furnace DJ-803V-H 日本 KOKUSAI 200mm
Vert. Furnace DJ-803V-H 日本 KOKUSAI 200mm
Vert. Furnace DD-803V-H 日本 KOKUSAI 200mm
Vert. Furnace DD-803V-H 日本 KOKUSAI 200mm
Vert. Furnace DD-803V-H 日本 KOKUSAI 200mm
Spin Dryer SRD880 美国Semitool 200mm
RTP AG8108 美国 AG Associate 1995 150mm
Poly Etch LAM 9400 POLY 美国 LAM 40158 150mm
Trench Etch LAM 9400 TRENCH 美国 LAM 2345 150mm
UV Bake M150PC 美国 Fusion 1992 150mm
UV Bake M150PC 美国 Fusion 1992 150mm
HF FUME EXCALIBUR2000 美国 Semitool 2005 150mm
Sputter 3290STQ 美国 Varian 2000 93475-777 150mm
Sputter 3290STQ 美国 Varian 2000 91442-731 150mm
PECVD CONCEPT ONE-150 美国 Novellus 1995 150mm
PE-TEOS CONCEPT ONE-150 美国 Novellus 150mm
SOG TR6133UD 美国 SEMIX 668461 150mm
PECVD P5000 美国 AMAT 2000 200mm
CMP EPO-222 日本 EBARA 200mm
CMP IPEC472 美国 Novellus 1998 150mm
Grinder DFG840 日本 DISCO 150mm
Grinder DFG841 日本 DISCO 200mm
Taper DR 8500 II 日本 NITTO 200mm
De-Taper HR 8500 II 日本 NITTO 200mm
Profile P10 美国 KLA Tencor 150/200mm
Profile P11 美国 KLA Tencor 150/200mm
Profile P11 美国 KLA Tencor 150/200mm
Profile P11 美国 KLA Tencor 150/200mm
Film Thickness OP2600 美国 Thermwave 1995 150mm
Film Thickness NANO 215S 美国 Nanometrics 1991 150mm
Particle WM3 日本 TOPCON 150mm
Particle Tencor 6100 美国 KLA Tencor 1996 150mm
Particle SFS 7600 美国 KLA Tencor 150/200mm
Particle SFS 7600 美国 KLA Tencor 150/200mm
Overlay KLA 5100XP 美国 KLA Tencor 200mm
Overlay KLA 5200XP 美国 KLA Tencor 200mm
AOI（IR） MX1000 美国 Phoseon Tech 150mm
AOI（IR） MX1001 美国 Phoseon Tech 150mm
AOI（IR） MX1002 美国 Phoseon Tech 150mm
Auto Microscope NWL641 日本 Nikon 150mm
Roughness Tester Roughness 日本 KOSAKA 150mm
Reflection X-Ray Fluorescence Spectrometer Trex 610 美国 Technos 200mm
Reflection X-Ray Fluorescence Spectrometer Trex 610 美国 Technos 150mm
Luminescence Defect Inspection System Inpectra PL 日本 东丽工程 150mm
SEM XL40 FEI
Prober UF200 日本 TSK 150mm
Prober EG2010CX 美国 Electroglass 150mm
Prober EG2010CX 美国 Electroglass 150mm
Prober EG2010CX 美国 Electroglass 150mm
Nitride Etch Tegal 901 美国 Tegal 1985 150mm
Nitride Etch Tegal 901 美国 Tegal 1990 150mm
Oxide Etch Tegal 903 美国 Tegal 1988 150mm
Oxide Etch TYLAN TAKUDA 日本 TAKUDA 1988 150mm
Oxide Etch TYLAN TAKUDA 日本 TAKUDA 1990 150mm
Oxide Etch Matrix 303 美国 Matrix 1990 150mm
Oxide Etch Matrix 403 美国 Matrix 1992 150mm
Oxide Etch Matrix 403 美国 Matrix 1992 150mm
Oxide Etch AMAT8116 美国 AMAT 1992 150mm
Oxide Etch AMAT8116 美国 AMAT 1993 150mm
Oxide Etch AMAT8336 美国 AMAT 1996 150mm